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300mmウェハ対応フルオートリマウンタ （MA3000III + フレーム除去ユニット）
バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に貼り付ける、保護テープ貼り付け機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。ウェハの大型化にも対応します。
バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面からはく離する、保護テープはく離機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。ウェハの大型化にも対応します。
バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に真空下で貼り付け、平板プレス機構も併せ持つ300mmウェハに対応したフルオートタイプの保護テープ貼り付け機です。
バックグラインド用の保護テープをTAIKO™ウェハのパターン面からはく離する、フルオートタイプの保護テープはく離機です。
ウェハ裏面に貼り付けられたダイシングテープへUVを照射し粘着力を低下させる、UV照射機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。
タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付け、パターン面からの保護テープはく離機能も有する、フルオートタイプのマウンタです。
タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付けるセミオートタイプのマウンタです。
タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付けるマウンタです。真空下でのマウントが可能です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。
土・日・祝日・年末年始・夏季休暇などは休業日となります
