• ダイシングテープを貼り替えます
• 薄ウェハ対応
• ノーマルのマウンタとしても使用可能
• 反転機能付きロボット搭載
• タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
• 稼働管理標準装備
• ウェハマッピングスキャナ搭載可能（ノーマルマウンタのみ）
• SECS/GEM機能搭載可能
• CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

• 適用フレームサイズ：300mm
• 適用ウェハサイズ：　300mm
• 適用ウェハ厚さ：　100um以上
• 処理能力： フレーム分離ユニット：約30枚／hr.  MR3000III本体側　ロールテープ：40枚/hr. プリカットテープ：45枚/hr.