MSA300II
300mmウェハ対応セミオートマウンタ（ロールテープ用）
オペレーションフロー
特長
- 300mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
- ロールテープ専用機
- テーブル加温機能
- タッチパネルによる簡易操作
- CEマーキング、SEMI S2/S8準拠
基本仕様
- 適用フレームサイズ： 300mm／200mm
- 適用ウェハサイズ： 300mm／200mm
- 適用ウェハ厚さ：
- 300mmウェハ： 200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
- 200mmウェハ： 200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
- 処理能力： 約40秒／ウェハ
MSA300PII
300mmウェハ対応セミオートマウンタ（プリカットテープ用）
オペレーションフロー
特長
- 300mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
- プリカットテープ専用機
- DAF対応
- テーブル加温機能
- タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
- CEマーキング、SEMI S2/S8準拠
基本仕様
- 適用フレームサイズ： 300mm／200mm
- 適用ウェハサイズ： 300mm／200mm
- 適用ウェハ厚さ：
- 300mmウェハ： 200um以上
- 200mmウェハ： 200um以上
- 処理能力： 約45秒／ウェハ
MSA840II
200mmウェハ対応セミオートマウンタ（ロールテープ用）
オペレーションフロー
特長
- 200mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
- ロールテープ専用機
- テーブル加温機能
- タッチパネルによる簡易操作
- CEマーキング、SEMI S2/S8準拠
基本仕様
- 適用フレームサイズ：8インチ／6インチ
- 適用ウェハサイズ： 8インチ／6インチ／5インチ／4インチ
- 適用ウェハ厚さ： 200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
- 処理能力： 約40秒/ウェハ
MSA840P
200mmウェハ対応セミオートマウンタ（プリカットテープ用）
オペレーションフロー
特長
- 200mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
- プリカットテープ専用機
- DAF対応
- テーブル加温機能
- タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
- CEマーキング、SEMI S2/S8準拠
基本設計
- 適用フレームサイズ：8インチ／6インチ
- 適用ウェハサイズ： 8インチ／6インチ
- 適用ウェハ厚さ： 200um以上
- 処理能力： 約45秒/ウェハ
M286N
M286N:8"ウェハ対応セミオートマウンタ
オペレーションフロー
特長
- テープ貼付は自動、テープカットは手作業のセミオートマウンタ
- 除電ファン追加可能（オプション）
- 基板マウント対応可能（専用テーブル必要）
基本設計
- 適用フレームサイズ：8インチ／6インチ
- 適用ウェハサイズ： 8インチ／6インチ／5インチ／4インチ
- 適用ウェハ厚さ： 200um（接触テーブル）、 250um（非接触テーブル）
- 処理能力： 約30秒／ウェハ
