• 300mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
• ロールテープ専用機
• テーブル加温機能
• タッチパネルによる簡易操作
• CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本仕様

• 適用フレームサイズ：　300mm／200mm
• 適用ウェハサイズ：　300mm／200mm
• 適用ウェハ厚さ：
  • 300mmウェハ：　200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
  • 200mmウェハ：　200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
• 処理能力：　約40秒／ウェハ

• 適用フレームサイズ：　300mm／200mm
• 適用ウェハサイズ：　300mm／200mm
• 適用ウェハ厚さ：
  • 300mmウェハ：　200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル） 
  • 200mmウェハ：　200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
• 処理能力：　約45秒／ウェハ

• 200mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
• ロールテープ専用機
• テーブル加温機能
• タッチパネルによる簡易操作
• CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本仕様

• 適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
• 適用ウェハサイズ：　8／6／5／4インチ
• 適用ウェハ厚さ：　200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
• 処理能力：　約40秒/ウェハ

• 200mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
• プリカットテープ専用機
• DAF対応
• テーブル加温機能
• タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
• CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本設計

• 適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
• 適用ウェハサイズ：　8／6インチ
• 適用ウェハ厚さ：　200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
• 処理能力：　約45秒/ウェハ

• M286N：　8"& 6" フレーム対応
• M265N：　6"フレーム対応
• 除電ファン追加可能（オプション）
• 基板マウント対応可能（専用テーブル必要）

基本設計

• 適用フレームサイズ：　M286N：8/6インチ、M265N：6インチ
• 適用ウェハサイズ：　M286N：8/6/5/4インチ、M265N：6/5/4/3インチ
• 適用ウェハ厚さ：　200um（接触テーブル）、　250um（非接触テーブル）
• 処理能力：　約30秒／ウェハ