• 多彩なオプションの組み合わせで多様なニーズに対応
  • DSC、コインスタック
  • 非接触アーム、非接触テーブル
  • 保護テープはく離機能／UV照射機能
  • 基板マウント
• 真空マウント／大気圧下のマウント対応
• TAIKOウェハ対応
• タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
• 稼働管理標準装備
• ウェハマッピングスキャナ搭載可能
• SECS/GEM機能搭載可能
• CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

• 適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
• 適用ウェハサイズ：　8／6／5／4インチ
• 適用ウェハ厚さ：　TAIKOウェハ：50um以上、ノーマルウェハ200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
• 処理能力：　TAIKOウェハ：35枚/hr.　　ノーマルウェハ：40枚/hr.

• 200mmウェハ対応セミオートタイプ真空マウンタ
• 差圧を利用した貼り付けにより、バンプウェハ等の凹凸を有するウェハへボイドなくテープ貼付が可能
• テーブル加温機能　（設定温度：Max. 120℃）
• 非接触テーブル選択可能
• DCT/NCF 2in1 対応

基本仕様

• 適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
• 適用ウェハサイズ：　8／6／5／4インチ
• 適用ウェハ厚さ：　TAIKOウェハ：50um以上、ノーマルウェハ200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
• 処理能力：
  • 真空マウント：　TAIKOウェハ：約100秒／ウェハ
  • ノーマルウェハ：約90秒／ウェハ
  • 大気圧下でのマウント：　約40秒／ウェハ