特長

• 300mm/200mm用フレーム
• UV照射時間自動計算機能
• N₂パージ
• 照射確認マ－キング機能
• タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
• 稼働管理標準装備
• CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

• 適用フレームサイズ：300mm／200mm
• 適用ウェハサイズ：　300mm／200mm
• 処理能力：　60枚/hr.

• ※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
  オプション機能を含んでいる場合もあります。
  また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

特長

• 8"/6"用フレーム対応
• UV照射時間自動計算機能
• N₂パージ
• 照射確認マ－キング機能
• タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
• 稼働管理標準装備
• CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

• 適用フレームサイズ：8インチ／6インチ
• 適用ウェハサイズ：　8インチ／6インチ／5インチ／4インチ
• 処理能力：100枚/hr.

特長

• 照射時間設定タイマー付（設定範囲： 0 - 999秒）
• N₂ パージ機能
• 照度計装備(オプション)
• 照射範囲拡大（フレームエリアまで拡大可能）（オプション）

基本仕様