特長

• TAIKOウェハ対応
• ベルヌーイ方式による非接触搬送
• コンタミレス搬送（ツインアームロボット使用）
• はく離バー／キッカケ／エッジキーパーによる安定はく離 　（キッカケ／エッジキーパーはオプション）
• はく離テープ部分貼りによる低ストレスはく離
• タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
• CEマーキング／SEMI S2/S8準拠
• SECS/GEM機能搭載可能

基本仕様

• ※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
  オプション機能を含んでいる場合もあります。
  また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。