バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に真空下で貼り付け、平板プレス機構も併せ持つ300mmウェハに対応したフルオートタイプの保護テープ貼り付け機です。

従来のウエハ保護テープ貼付装置の技術に、真空・平板プレスの技術を導入し、大きな凹凸や段差・バンプがある半導体ウエハに対して、気泡なく、平滑・平坦にテープを貼り付けることができる真空＋プレス機構付きテープ貼付装置です。