공기 필터용 불소수지 다공질 필름 TEMISH™ NTF9000 시리즈

TEMISH NTF9000 시리즈는 첨단 기술을 이용하여 집진 특성이 뛰어난 PTFE 다공질막과 고성능 공기 여과 목적으로 선별된 부직포를 결합한 고성능 공기 필터입니다. 반도체 산업에서 집적도와 LCD 스크린 증가를 위해서는 보다 청정한 환경이 요구되고, 따라서 고성능 공기 필터가 더욱 필요해집니다. PTFE 다공질막에는 분진 내성(방진성)이 있기 때문에 PTFE 다공질막으로 제작된 진공 흡인 필터는 유지보수 작업이 필요 없도록 만드는 데 중점을 두고 있습니다.

적용 사례(필터 장치)
특징
구조
제품 구성

적용 사례(필터 장치)

ULPA (Ultra Low Penetration Air, 초저 투과 공기) 등급, HEPA(High Efficiency Particulate Air, 고효율 미립자 공기) 등급 및 반 HEPA 등급을 사용할 수 있습니다.
낮은 압력 강하 및 높은 집진 효율.
유리 섬유 필터 및 정전 필터와 비교해 압력 강하 및 집진 효율 간 균형이 뛰어납니다.
붕소, 인 또는 불순물을 함유하지 않습니다.
유리 섬유 필터와 같이 자기 발진 특성이 없습니다.
탁월한 내화학성.
산(예: 불화수소산), 알칼리 및 유기 용제에 대한 내성이 뛰어납니다.
우수한 내습성.
뛰어난 방수성.
세척해도 성능이 저하되지 않습니다.
노출 막, 우수한 먼지 방출 특성에 대해서.
기계적인 진동이나 솔질로 분진을 쉽게 제거할 수 있습니다.

특징

ULPA (Ultra Low Penetration Air, 초저 투과 공기) 등급, HEPA(High Efficiency Particulate Air, 고효율 미립자 공기) 등급 및 반 HEPA 등급을 사용할 수 있습니다.
유리 섬유 필터 및 정전 필터와 비교해 압력 강하 및 집진 효율 간 균형이 뛰어납니다.
산(불화수소산 등), 알칼리 및 유기용제 등에 대한 우수한 내화학성, 내습성, 방수성, 분진이형성.
기계적인 진동이나 솔질로 분진을 쉽게 제거할 수 있습니다.
유리 섬유 필터와 같이 자기 발진 특성이 없습니다.
세척해도 성능이 저하되지 않습니다.
붕소, 인 또는 불순물을 함유하지 않습니다.
낮은 압력 강하 및 높은 집진 효율.

구조

ULPA 등급

HEPA 등급

반 HEPA 등급

제품 구성

ULPA 등급

항목	두께 [mm]	압력 강하 [Pa]	집진 효율 [%]	입자 지름 [μm]
NTF9535-U01	0.38	340	99.99999 또는 이상	0.1~0.2
NTF9529-U01		290	99.9999 또는 이상
NTF9522-U01		220	99.995 또는 이상
NTF9329-U16	0.32	290	99.99995 또는 이상
NTF9322-U15	0.32	220	99.9995 또는 이상

HEPA 등급

항목	두께 [mm]	압력 강하 [Pa]	포집 효율 [%]	입자 지름 [μm]
NTF9317-H15	0.32	170	99.97 또는 이상	0.3~0.5
NTF9314-H14		140	99.95 또는 이상	0.1~0.2
NTF9310-H13		100	99.5 또는 이상	0.1~0.2

반 HEPA 등급

항목	두께 [mm]	압력 강하 [Pa]	포집 효율 [%]	입자 지름 [μm]
NTF9307-L15	0.32	70	98 또는 이상	0.3~0.5
NTF9307-L03	0.32		95 또는 이상	0.1~0.2
NTF9307-L01	0.26		98 또는 이상	0.3~0.5
NTF9304-L15	0.32	40	75 또는 이상	0.3~0.5