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웨이퍼 장착기(반자동형) NEL 시스템™

반자동형 웨이퍼 장착기로, 웨이퍼 이면/다이싱 프레임에 다이싱 테이프를 부착하는 장비입니다.

MSA300II

MA3000IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

300mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(롤 테이프)

작업 흐름

특징

  • 300mm 웨이퍼 사용 가능
  • 롤 테이프 전용
  • 테이블 온열 기능:
  • 터치 패널로 간편한 조작
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　300mm／200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　300mm／200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께：　300mm 웨이퍼：　200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블） 200mm 웨이퍼：　200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블）
  • 처리량：　대략 40초/웨이퍼
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

MSA300PII

MSA300PIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

300mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(프리컷 테이프)

작업 흐름

특징

  • 반자동 300mm 웨이퍼 장착기
  • 프리컷 테이프 전용
  • DAF 사용 가능
  • 테이블 온열 기능
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　300mm／200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　300mm／200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께：　300mm 웨이퍼：　200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블） 200mm 웨이퍼：　200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블）
  • 처리량：　대략 45초/웨이퍼
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

MSA840II

MSA840IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(롤 테이프)

작업 흐름

특징

  • 반자동형 200mm 웨이퍼 장착기
  • 롤 테이프 전용
  • 테이블 온열 기능
  • 터치 패널로 간편한 조작
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　8 인치/6 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　8/6/5/4 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께：　200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블）
  • 처리량：　대략 40초/웨이퍼
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

MSA840P

MSA840Psemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(프리컷 테이프)

작업 흐름

특징

  • 반자동형 200mm 웨이퍼 장착기
  • 프리컷 테이프 전용
  • DAF 사용 가능
  • 테이블 온열 기능
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　8 인치/6 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　8/6 in
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께：　200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블）
  • 처리량：　대략 45초/웨이퍼
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

M286N/ M265N

M286N/M265N

M286N: 8" 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기
M265N: 6" 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기

작업 흐름

특징

  • M286N：　8"& 6" 프레임 사용 가능
  • M265N：　6" 프레임 사용 가능
  • 정전기 제거기 추가(옵션)
  • 패널 장착 사용 가능(옵션)

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　M286N：8/6 인치、M265N：6 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　M286N：8/6/5/4 인치、M265N：6/5/4/3 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께：　200um（접촉식 테이블）、250um（비접촉식 테이블）
  • 처리량：　대략 30초/웨이퍼
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.
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