MA3000III
300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 장착기
작업 흐름
특징
- FOUP/오픈 카세트 사용 가능
- 롤 테이프/프리컷 테이프 사용 가능(표준)
- 장착 후 박리 기능(표준)
- BG/T를 위한 UV 기능(옵션)
- 얇은 웨이퍼 기능(옵션)
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
- SECS/GEM 추가 가능
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 50um 이상(TAIKO 웨이퍼 버전)
- 처리량: 롤 테이프: 43웨이퍼/시간 프리컷 테이프: 50웨이퍼/시간
MA2008IIR/ MA2008IIP
200mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 장착기
작업 흐름
특징
- 다양한 적용에 조합하여 사용가능:
- DSC, 코인 스택
- 비접촉식 암, 비접촉식 테이블
- 보호 테이프 박리 / UV 조사
- 패널 장착
- MA2008IIR: 롤 테이프용
- MA2008IIP: 프리컷 테이프용
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
- SECS/GEM 추가 가능
- CE 마크/SEMI S2/S8" 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8/6/5/4 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 200um 이상(접촉식 테이블), 250um 이상(비접촉식 테이블)
- 처리량: MA2008IIR: 75개 웨이퍼/시간 MA2008IIP: 75개 웨이퍼/시간
