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TAIKO™ 웨이퍼에서 보호 테이프 제거기 NEL 시스템™ 시리즈

전자동 테이프 제거기로, TAIKO 웨이퍼 패턴 표면에서 보호 테이프(백그라인딩 공정용)를 제거합니다.

HR9000

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200mm TAIKO 웨이퍼용 전자동 테이프 제거기

작업 흐름

특징

  • TAIKO 웨이퍼 사용가능
  • 베르누이 방법에 의한 비접촉식 이송
  • 오염없는 이송(트윈암 로봇 사용)
  • 박리 바, 박리 트리거, 에지 키퍼에 의한 안정적인 박리 성능
    (박리 트리거 & 에지 키퍼: 옵션)
  • 부분적 박리 테이프 부착으로 낮은 박리 응력
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수
  • SECS/GEM 추가 가능

기본 사양

  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　8 in/6 in
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께：　TAIKO 웨이퍼：50um 이상,
    표준 웨이퍼: 150um 이상
  • 처리량：　TAIKO 웨이퍼：30개 웨이퍼/시간
    표준 웨이퍼： 50 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.
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