半導体製造装置のロボットアームやチャックテーブルに付着した異物を捕集するウエハ状クリーニング材です。
ウエハ吸着テーブル用クリーニング材 クリーニングウエハ
転がすだけで微細なチリ・ホコリをしっかりキャッチ。
エレップクリーナー™ F・SDR™ タイプ
毎日ラクラク。綺麗で楽しいお掃除ツール
コロコロシリーズ
水・塵をシャットアウトし、きれいな空気を通すミクロのフィルタ。
ふっ素樹脂多孔質フィルム TEMISH NTF9000シリーズ
水や風は通しませんが、空気、湿気は通過させる。まさに、呼吸するフィルム。
ブレスロン
通気性は基材と粘着剤塗布量で、粘着特性は粘着剤の選定と塗布量でコントロール可能。
ニトスルー
