日東精機株式会社

日東精機は、1981年に日東電工のテ－プ応用部門から独立して以来、お客様のご要望に合わせたコンポーネントのご提案と、お客様の現状や問題点に即したシステムを日東電工の材料と共にト－タルソリュ－ションとしてご提供しております。

会社概要

半導体製造プロセス生産向上・合理化をサポートするシステムとして開発されたNELシステム。半導体ウエハの固定用テープを貼り合わせる機械や、表面を保護するテープの自動貼り合わせ機械など、用途に応じてお応えしています。

バックグラインド用保護テープ貼り付け装置 NEL SYSTEM™シリーズ
半導体ウエハ加工時の作業性向上に貢献するテープ貼り合わせ機シリーズ。

バックグラインド用保護テープはく離装置 NEL SYSTEM™
バックグラインドプロセス後の保護テープはく離マシン。

ダイシング工程用UV照射装置　NEL SYSTEM™シリーズ
UV照射により、ウエハ保護テープの粘着力を低下。