Montador de obleas (tipo totalmente automático) NEL SYSTEM®
Este equipo es un montador de obleas de tipo totalmente automático, aplica la cinta de corte sobre el marco de corte/parte posterior de la oblea y elimina la cinta de protección de la superficie con patrón de obleas.
Montador totalmente automático para obleas de 300 mm
Flujo de operaciones
Características
FOUP/cassette abierto disponible
Oblea fina disponible
Sistema en línea disponible (opcional)
Reducida presencia (más pequeña del sector)
Mejor rendimiento de despegado de la cinta de protección
Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
Equipo estándar con función de archivo de registro
Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
Incorporación disponible de SECS/GEM
Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
Especificaciones básicas
Tamaño de marco aplicable: 300 mm/200 mm
Tamaño de oblea aplicable: 300 mm/200 mm
Grosor de oblea aplicable: 30 μm o más (sistema en línea), 50 μm o más (independiente)
Producción: Cinta de rollo: 40 obleas/hora. Cinta precortada: 45 obleas/h
*Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional. En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.
MA2008IIR/ MA2008IIP
MA2008IIR/ MA2008IIP
Montador totalmente automático para obleas de 200 mm
Flujo de operaciones
Características
Disponible con combinación de diversas aplicaciones:
DSC, apilado de monedas
Brazo sin contacto, tabla sin contacto
Separación de cinta de protección / irradiación UV
Montaje en panel
MA2008IIR: para cinta de rollo
MA2008IIP: para cinta precortada
Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
Equipo estándar con función de archivo de registro
Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
Incorporación disponible de SECS/GEM
Se sigue la marca CE / SEMI 2/S8"
Especificaciones básicas
Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
Grosor de oblea aplicable:200 μm o más (Tabla de contacto), 250 μm o más (Tabla sin contacto)
*Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.