Eliminador de cinta de protección para oblea TAIKO® Serie NEL SYSTEM®
Este equipo es un eliminador de cinta de tipo totalmente automático y retira la cinta de protección (para el proceso de contra afilado) para la superficie con patrón de obleas TAIKO.
HR9000
HR9000
Eliminador totalmente automático para obleas TAIKO de 200 mm
Flujo de operaciones
Características
Oblea TAIKO disponible
Transferencia sin contacto mediante método Bernoulli
Transferencia con menos contaminación (empleando robot con brazo dual)
Rendimiento estable de despegado mediante barra de separación, activador de separación, mantenedor de bordes (Activador de despegado y mantenedor de bordes: opcional)
Despegado con baja tensión mediante separación de la cinta aplicando
Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
Incorporación disponible de SECS/GEM
Especificaciones básicas
Tamaño de oblea disponible： 8"/6"
Grosor de oblea aplicable： Oblea TAIKO：50 μm o más, Oblea normal: 150 μm o más
*Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional. En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.
