웨이퍼 장착기(전자동형) NEL 시스템™
전자동형 웨이퍼 장착기로 웨이퍼 이면/다이싱 프레임에 다이싱 테이프를 부착하고 웨이퍼 패턴 표면에서 보호 테이프를 제거하는 장비입니다.
MA3000III
MA3000Ⅲ
300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 장착기
작업 흐름
특징
- FOUP/오픈 카세트 사용 가능
- 얇은 웨이퍼 사용가능
- 인라인 시스템 사용 가능(옵션)
- 적은 점유공간(업계 최소 크기)
- 보호 테이프 박리 성능 개선
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
- SECS/GEM 추가 가능
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기： 300mm／200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 크기： 300mm／200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 두께： 30um 이상(인라인 시스템), 50um 이상(독립실행형)
- 처리량： 롤 테이프: 40웨이퍼/시간 프리컷 테이프: 45웨이퍼/시간
MA2008IIR/ MA2008IIP
MA2008IIR/ MA2008IIP
200mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 장착기
작업 흐름
특징
- 다양한 적용에 조합하여 사용가능:
- DSC, 코인 스택
- 비접촉식 암, 비접촉식 테이블
- 보호 테이프 박리 / UV 조사
- 패널 장착
- MA2008IIR: 롤 테이프용
- MA2008IIP: 프리컷 테이프용
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
- SECS/GEM 추가 가능
- CE 마크/SEMI S2/S8" 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기： 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기： 8/6/5/4 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 두께： 200um 이상（접촉식 테이블）、250um 이상（비접촉식 테이블）
- 처리량： MA2008IIR：75개 웨이퍼/시간 MA2008IIP：70개 웨이퍼/시간
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