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耐熱背磨膠帶

具有抗熱性的背面研磨膠帶用於晶圓研磨後的特殊加熱處理。

抗熱性研磨膠帶可對應晶圓背面的二次處理。背面研磨處理後，貼著抗熱性背面研磨膠帶的晶圓便可進行加工（濕法刻蝕、灰化、金屬化、曝光 / 加工等）。

特點

  • 優異的 TTV（總厚度變化）性能
  • 在晶背處理過程中具有高耐熱性。
  • 經過數種研磨處理後．易於從磨光晶圓上剝離。

結構

用途

  • 電力元件、分離式元件等的晶背濕法刻蝕或金屬化處理。
  • 晶背的複雜加工，如：IGBT 等。
  • 需要特定熱量的其他半導體加工。
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