Montador de oblea al vacío Serie NEL SYSTEM®

Este equipo es un montador de obleas en condiciones de vacío. Tipo completamente automático & Máquinas semiautomáticas que se alinean. También están disponibles obleas de gran tamaño.

Montador totalmente automático de obleas al vacío para obleas de 200 mm

Disponible con combinación de diversas aplicaciones:
- DSC, apilado de monedas
- Brazo sin contacto, tabla sin contacto
- Separación de cinta de protección / irradiación UV
- Montaje en panel
Disponible con montaje al vacío y montaje normal
Oblea TAIKO disponible
Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
Equipo estándar con función de archivo de registro
Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
Incorporación disponible de SECS/GEM
Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8

Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
Tamaños de oblea disponibles：　8"/6"/5"/4"
Grosor de oblea aplicable： Oblea TAIKO：50 μm o más Oblea normal: 200 μm o más (Tabla de contacto), 250 μm o más (Tabla sin contacto)
Producción： Oblea TAIKO: 35 obleas/h Oblea normal： 40 obleas/h

*Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Montador semiautomático de obleas al vacío para obleas de 200 mm

Montador de obleas al vacío de 200 mm de tipo semiautomático
La aplicación sin vacío en la oblea del depósito se puede realizar mediante la aplicación de presión diferencial/presión de placa plana
Función de calentamiento de tablas (Temperatura de configuración máxima: 120 °C)
Disponible en tabla sin contacto
DCT/NCF 2 en 1 disponible

Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
Tamaños de oblea disponibles：　8"/6"/5"/4"
Grosor de oblea aplicable：Oblea TAIKO：50 μm o más Oblea normal:200 μm o más (Tabla de contacto), 250 μm o más (Tabla sin contacto)
Producción：
Montaje en vacío: Oblea TAIKO: Aprox. 100 segundos/oblea
Oblea normal: Aprox. 90 segundos/oblea
Montaje en la atmósfera: Aprox. 40 segundos/oblea

*Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Montador semiautomático de obleas al vacío para obleas de 300 mm

Montador de obleas al vacío de 300 mm de tipo semiautomático
La aplicación sin vacío en la oblea del depósito se puede realizar mediante la aplicación de presión diferencial/presión de placa plana