Aplicador de cinta protectora (con función de vacío y presión) Serie NEL SYSTEM®

Este equipo es un aplicador de cinta completamente automático que aplica cinta de protección (para proceso de contra afilado) a superficies con patrón de oblea de 300 mm en condiciones de vacío. También se incluye la función de presión mecánica.

Para las obleas con protuberancias, cóncavas o convexas, el rendimiento de aplicación de la cinta puede verse notablemente mejorado al utilizar la función de montaje al vacío y la función de presión mecánica.

DV3000
Aplicaciones

DV3000

Aplicador de cinta protectora completamente automático para obleas de 300 mm (con función de aplicación de vacío y presión)

Flujo de operaciones

Características

FOUP/cassette abierto disponible
La aplicación sin vacío en la oblea del depósito se puede realizar mediante la aplicación de presión diferencial/presión de placa plana
Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
Equipo estándar con función de archivo de registro
Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

Tamaño de marco aplicable: 300 mm
Tamaño de oblea aplicable： 300 mm
Grosor de oblea aplicable： 775 μm
Producción: 45 obleas/h.

*Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Aplicaciones

Laminación de cinta del contra afilado para obleas con relieve. (P. ej., FC-BGA, etc.)
Laminación de cinta del contra afilado para obleas con superficies irregulares. (P. ej., (IGBT, etc.)

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