Características

• FOUP/cassette abierto disponible
• Rendimiento estable de despegado mediante activador de separación
• Despegado con baja tensión mediante control preciso de la barra de separación
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
• Equipo estándar con función de archivo de registro
• Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
• Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
• Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

Características

• Obleas disponibles de 8"/6"/5"
  Manejo de oblea de 4" (opcional)
• Función de calentamiento de tablas
• Oblea fina disponible (versión TW)
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil
• Se sigue la marca CE
• Incorporación disponible de SECS/GEM

Características

• Obleas disponibles de 8"/6"/5"/4"
• Manejo disponible de obleas de 8"- 4" por 1 tabla
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil
• Se sigue la marca CE / SEMI 2/S8"

Especificaciones básicas

• Tamaños de oblea disponibles：　8"/6"/5"/4"
• Grosor de oblea aplicable： 250 μm o más
• Producción： aprox. 50 segundos/oblea

Características

• Despegado de la cinta de protección de marco con montaje de oblea
• Obleas disponibles de 8"/6"/5"/4"
• Marco de 8" disponible (marco de 6": opcional)
• Manejo disponible de obleas de 8"- 4" por 1 tabla
• Despegado de cinta de protección de la oblea independiente (opcional)
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil
• Se sigue la marca CE & SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

• Tamaño de marco aplicable：　8 in”, (6”: opcional)
• Tamaños de oblea disponibles：　8"/6"/5"/4"
• Grosor de oblea aplicable： 100 μm o más, 250 μm o más (para obleas independientes)
• Producción： 50 segundos/oblea