Características

• FOUP/cassette abierto disponible
• Aplicación con baja tensión / Aplicación con control de la tensión
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
• Equipo estándar con función de archivo de registro
• Función de detección de flacidez de la cinta
• Se sigue la marca CE & SEMI S2/S8
• Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
• Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

• Tamaño de oblea aplicable： 300 mm/200 mm
• Grosor de oblea aplicable： 400 μm o más
• Producción： 68 obleas/h.

• ※Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
  En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Características

• Obleas disponibles de 8"/6"/5"
  Función de manejo de oblea de 4" (opcional)
• Aplicación con baja tensión (versión RF)
• Disponible con función de calentamiento de rodillos/incorporación de tablas
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil
• Se sigue la marca CE
• Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

Características

• Obleas disponibles de 8"/6"/5"/4"
• Manejo disponible de obleas de 8"- 4" por 1 tabla
• Fácil funcionamiento mediante panel táctil
• Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

• Tamaños de oblea disponibles：　8"/6"/5"/4"
• Grosor de oblea aplicable： oblea sin contra afilado
• Producción： aprox. 50 segundos/oblea

• ※Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
  En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.