Dispositivo per rimozione nastro di protezione dai wafer TAIKO® Serie NEL SYSTEM®
Questa apparecchiatura è un dispositivo di rimozione nastro di tipo completamente automatico; rimuove il nastro di protezione (per il processo di riduzione spessore wafer) dalla superficie a wafer TAIKO.
HR9000
HR9000
Dispositivo di rimozione nastro completamente automatico per wafer TAIKO da 200 mm
Sequenza operativa
Caratteristiche
Wafer TAIKO disponibile
Trasferimento senza contatto con metodo Bernoulli
Trasferimento senza contaminazione (utilizzando un robot a doppio braccio)
Prestazioni di rimozione pellicola stabili tramite barra di rimozione pellicola, trigger di rimozione pellicola, dispositivo di conservazione bordi (trigger per pelatura & pellicola e dispositivo di protezione bordi: opzionale)
Rimozione pellicola a tensione bassa grazie alla parziale rimozione della pellicola durante l'applicazione del nastro
Facile funzionamento tramite pannello tattile e funzione "Recipe"
Conforme al marchio CE / SEMI S2/S8
Possibilità di aggiungere SECS/GEM
Specifiche base
Dimensione wafer applicabile: 8 pollici/6 pollici
Spessore wafer applicabile: wafer TAIKO: 50 um o più Wafer normale: 150 um o più
*I valori sopra specificati varieranno in base al wafer/nastro/altre condizioni e, in alcuni casi, è inclusa la funzione opzionale. Qualora le condizioni siano appropriate, si potrebbero applicare dei wafer che non rientrano nelle specifiche sopra indicate. Vi preghiamo di contattarci.