La oblea de limpieza se usa para quitar las partículas pequeñas de los brazos de robots o las tablas de tirada de los equipos de fabricación de semiconductores.

La oblea de limpieza dispone de una capa de limpieza especial, que puede quitar pequeñas partículas de los equipos de fabricación de semiconductores. El tiempo en pausa de las máquinas puede reducirse drásticamente por el uso de la oblea de limpieza, comparado con el método normal de limpieza a mano. La oblea de limpieza puede utilizarse también para un mantenimiento preventivo, por lo que ya puede esperarse una mejora en el rendimiento.