Пропустить до основного текста

УФ-излучатель для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы Серия NEL SYSTEM®

Это оборудование излучает УФ-волны на ленту для разделения на задней стороне пластины для уменьшения силы адгезии. Доступны полностью автоматические и полуавтоматические машины для пластин разных размеров.

UA3000Ⅲ

UA3000Ⅲsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Полностью автоматический УФ-излучатель для пластин размером 300 мм

Операционный поток

Характеристики

  • Доступны рамы размером 8/6 дюймов
  • Автоматический расчет времени УФ-излучения
  • Расширение площади излучения (до площади рамы)
  • Очистка с помощью N2
  • Маркировка после УФ-излучения
  • Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
  • Стандартная функция ведения журнала
  • Значок CE/SEMI S2/S8"

Базовые спецификации

 
  • Доступный размер рамы: 300/200 мм
  • Доступные размеры пластин: 300/200 мм
  • Производительность: 60 пластин/ч
  • *На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
    Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.

UA8400

UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

Полностью автоматический УФ-излучатель для пластин размером 200 мм

Операционный поток

Характеристики

  • Доступны рамы размером 8/6 дюймов
  • Автоматический расчет времени УФ-излучения
  • Расширение площади излучения (до площади рамы)
  • Очистка с помощью N2
  • Маркировка после УФ-излучения
  • Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
  • Стандартная функция ведения журнала
  • Значок CE/SEMI S2/S8

Базовые спецификации

  • Доступный размер рамы: 8/6 дюймов
  • Размер пластины: 8/6/5/4 дюйма
  • Производительность: TAIKO — 100 пластин/ч
  • *На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
    Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.

UM810/UM110

UM810: полуавтоматический УФ-излучатель для пластин размером 8 дюймов
UM110: полуавтоматический УФ-излучатель для пластин размером 6 дюймов

Операционный поток

Характеристики

  • Доступен таймер УФ-излучения (диапазон: 0–999 с)
  • Функция очистки с помощью N2
  • УФ-люксметр (опция)
  • Расширение площади излучения (до площади рамы) (опция)

Базовые спецификации

  • Доступный размер рамы: UM810: 8/6 дюймов UM110: 6 дюймов
  • Доступный размер пластины: UM810: 8/6/5/4 дюйма UM110: 6/5/4 дюйма
  • *На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
    Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.

Contact Us

TEL +7-495-269-01-71

Business Hours (WET) 8:00h-17:00h Except for Sat, Sun, and Holidays

Search by other product categories

Contact Us

TEL +7-495-269-01-71
Business Hours (WET) 8:00h-17:00h
Except for Sat, Sun, and Holidays