Характеристики

• FOUP/открытая кассета
• Стабильное удаление благодаря специальному триггеру
• Удаление с низким напряжением за счет точного контроля стержня отслаивания
• Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
• Стандартная функция ведения журнала
• Значок CE/SEMI S2/S8
• Возможность добавления сканера для составления карты годности кристаллов на пластине
• Возможность добавления SECS/GEM

Базовые спецификации

Характеристики

• Доступны пластины размером 8/6/5 дюймов
  Обработка пластин размером 4 дюйма (опция)
• Функция нагрева стола
• Доступны тонкие пластины (версия TW)
• Удобное управление с помощью сенсорной панели
• Значок CE
• Возможность добавления SECS/GEM

Характеристики

• Доступны пластины размером 8/6/5/4 дюйма
• Возможность обработки пластин размером 8–4 дюйма на 1 столе
• Удобное управление с помощью сенсорной панели
• Значок CE/SEMI S2/S8"

Базовые спецификации

• Размер пластины: 8/6/5/4 дюйма
• Толщина пластины: 250 мкм и более
• Производительность: приблизительно 50 с/пластина

Характеристики

• Удаление защитной ленты с рамы крепления пластин
• Доступны пластины размером 8/6/5/4 дюйма
• Доступны рамы размером 8 дюймов (рама 6 дюймов: опция)
• Возможность обработки пластин размером 8–4 дюйма на 1 столе
• Удаление защитной ленты с отдельной пластины (опция)
• Удобное управление с помощью сенсорной панели
• Значок CE и SEMI S2/S8

Базовые спецификации

• Доступный размер рамы: 8 дюймов, (6 дюймов: опция)
• Размер пластины: 8/6/5/4 дюйма
• Толщина пластины: 100 мкм и более、　250 мкм и более (для отдельной пластины)
• Производительность: 50 с/пластина