Характеристики

• FOUP/открытая кассета
• Применение с низким напряжением/регуляция давления
• Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
• Стандартная функция ведения журнала
• Функция обнаружения провисания ленты
• Значок CE и SEMI S2/S8
• Возможность добавления сканера для составления карты годности кристаллов на пластине
• Возможность добавления SECS/GEM

Базовые спецификации

• Доступные размеры пластин: 300/200 мм
• Толщина пластины: 400 мкм и более
• Производительность: 68 пластин/ч

• ※На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
  Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.

Характеристики

• Доступны пластины размером 8/6/5 дюймов
  Функция обработки пластин размером 4 дюйма (опция)
• Применение с низким напряжением (версия RF)
• Возможность добавления функции нагрева стола/ролика
• Удобное управление с помощью сенсорной панели
• Значок CE
• Возможность добавления SECS/GEM

Базовые спецификации

Характеристики

• Доступны пластины размером 8/6/5/4 дюйма
• Возможность обработки пластин размером 8–4 дюйма на 1 столе
• Удобное управление с помощью сенсорной панели
• Значок CE/SEMI S2/S8

Базовые спецификации

• Размер пластины: 8/6/5/4 дюйма
• Толщина пластины: пластина без утончения
• Производительность: приблизительно 50 с/пластина

• ※ На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
  Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.